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詰まりにくく、分解可能なコイル式熱交換器を採用。オリオン独自のコイル式熱交換器なら、詰まりにくく、万が一の場合でも分解清掃が可能。使いやすさを考慮した前面集中操作方式。操作スイッチ、温度表示、IN・OUT水配管、ドレン口を全て前面パネルに集中し、設置性をアップ。スペースの有効活用が可能な低床構造を採用。高さ方向を極限まで下げることにより、さまざまな設置レイアウトが可能。

高揚程ポンプ(最大流量40.7/44.6L/min・最大揚程13.6/19.1m)により循環先の抵抗が大きい場合でもスムーズな循環を実現します。バイパスバルブを標準装備していますので、流量の大まかな調整が可能です。純水循環も可能ですので、半導体製造装置の冷却装置として使用できます。外部運転・外部警報出力端子や外部警報入力端子/遠隔操作端子を標準装備しています。停電復帰機能により万一の停電時でも自動的に運転を再開する事ができます。