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アルキルジフェニールエーテルを主成分とする合成潤滑油を、高真空蒸留装置によって精密分溜し特殊な添加剤を配合した合成系油回転高真空ポンプ油です。 鉱物油系では得られない高い耐活性ガス・耐熱・耐酸化性を有しており、特に半導体製造装置等で使用する活性ガスの排気プロセスに最適です。