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エッチング、スパッタリング、その他真空内温度測定に。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー。裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます) カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮。貼り付け精度向上。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定・LCD製造装置における硝子基板の温度測定・真空装置の内部治具の温度測定
寸法(幅W×高さH)(mm)38×10
表示8点表示
精度(%)±1
RoHS指令(10物質対応)対応
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