エッチング、スパッタリング、その他真空内温度測定に。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー。裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます) カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮。貼り付け精度向上。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定・LCD製造装置における硝子基板の温度測定・真空装置の内部治具の温度測定
寸法(幅W×高さH)(mm)38×10
表示8点表示
精度(%)±1
RoHS指令(10物質対応)対応
エッチング、スパッタリング、その他真空内温度測定に。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮。貼り付け精度向上。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定・LCD製造装置における硝子基板の温度測定・真空装置の内部治具の温度測定
寸法(幅W×高さH)(mm)29×10
表示6点表示
精度(%)±1
RoHS指令(10物質対応)対応
エッチング、スパッタリング、その他真空内温度測定に。 プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます) カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮 貼り付け精度向上 すべてのレンジにカプトンフィルム使用
プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー すべてのレンジにカプトンフィルム使用
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定 ・LCD製造装置における硝子基板の温度測定 ・真空装置の内部治具の温度測定
寸法(mm)W21×10
寸法(幅W×高さH)(mm)21×10
表示4点表示
精度(%)±1
変色白→黒
RoHS指令(10物質対応)対応
3点表示・真空用超小型シール 真空用・世界最小 ラベルの端から示温素子まで1mm。ウェハ・エッジの温度を測ることが出来る プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます) カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮 貼り付け精度向上 すべてのレンジにカプトンフィルム使用
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定 ・LCD製造装置における硝子基板の温度測定 ・真空装置の内部治具の温度測定
寸法(幅W×高さH)(mm)8×3
表示3点表示
精度(%)±1
RoHS指令(10物質対応)対応
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