表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA
再現性±0.2%FS
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA
流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)
サイズ127×38×100mm
フルスケール流量100SCCM
応答時間≦2sec
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
材質(シール)フッ素ゴム
耐圧力(MPa)1
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA
サイズ127×38×100mm
材質(シール)フッ素ゴム
再現性±0.2%FS
応答時間≦2sec
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA
耐圧力(MPa)1
流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
フルスケール流量500SCCM
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA
サイズ127×38×100mm
フルスケール流量200SCCM
再現性±0.2%FS
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA
流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)
応答時間≦2sec
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
材質(シール)フッ素ゴム
耐圧力(MPa)1
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA
サイズ127×38×100mm
フルスケール流量50SCCM
再現性±0.2%FS
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA
流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)
応答時間≦2sec
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
材質(シール)フッ素ゴム
耐圧力(MPa)1
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
サイズ160×33.6×105mm
継手1/4in.SWL相当
再現性±0.2%FS
通信方式アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0~5VDC)
流量制御範囲5~100%FS
流量精度±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
表面処理機械加工仕上げ
流体気体
バルブ形式N/O ノーマルオープン
応答性6sec
駆動源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
使用周囲温度(℃)5~50 85%RH以下
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA
サイズ127×38×100mm
材質(シール)フッ素ゴム
再現性±0.2%FS
応答時間≦2sec
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA
耐圧力(MPa)1
流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
フルスケール流量5SLM
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA
サイズ127×38×100mm
フルスケール流量2SLM
再現性±0.2%FS
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA
流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)
応答時間≦2sec
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
材質(シール)フッ素ゴム
耐圧力(MPa)1
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA
サイズ127×38×100mm
材質(シール)フッ素ゴム
再現性±0.2%FS
応答時間≦2sec
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA
耐圧力(MPa)1
流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
フルスケール流量1SLM
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA
サイズ127×38×100mm
材質(シール)フッ素ゴム
再現性±0.2%FS
応答時間≦2sec
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA
耐圧力(MPa)1
流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
フルスケール流量20SCCM
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA
サイズ127×38×100mm
材質(シール)フッ素ゴム
再現性±0.2%FS
応答時間≦2sec
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA
耐圧力(MPa)1
流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
フルスケール流量10SCCM
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