マスフローコントローラー C-4S2-Lシリーズ
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
- サイズ
- 160×33.6×105mm
- 流体
- 気体
- バルブ形式
- N/O ノーマルオープン
- 表面処理
- 機械加工仕上げ
- 再現性
- ±0.2%FS
- 通信方式
- アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
- 使用周囲温度(℃)
- 5～50 85%RH以下
- 入出力
- アナログ信号(0～5VDC)
- 流量精度
- ±2%FS(精度保証範囲15～35℃)
- 応答性
- 6sec
- 継手
- 1/4in.SWL相当
- 駆動源
- +15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
- 流量制御範囲
- 5～100%FS
- 内容量
- 1個
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