・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
定格圧力範囲(MPa)-0.1~1
定格圧力範囲(kPa)(ZSE20A) 0 ~ -101
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
切換方式2位置シングル
ポート数5
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
ポート数5
切換方式2位置ダブル
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
リード線取出方法プラグインコンジットターミナル
切換方式2位置ダブル
ポート数5
主弁構造がメタルシール。
豊富なサイズバリエーション。
中・大型シリンダ駆動用。
豊富なマニホールドオプション。
制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
ポート数5
使用流体空気
切換方式2位置ダブル
周囲温度および使用流体温度(℃)-10~60
主弁構造がメタルシール。
豊富なサイズバリエーション。
中・大型シリンダ駆動用。
豊富なマニホールドオプション。
制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
ポート数5
切換方式2位置シングル
周囲温度および使用流体温度(℃)-10~60
3色表示・2画面表示の流量センサ。
温度センサを一体化。
40%小型化(メーカーPF2W比較)
IP65対応、ノングリース仕様。
使用流体温度0~90℃
塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
・モジュラタイプ取付可能。
・ARM10/11シリーズ取付可能。
・圧力表示単位切換可能。
・チャタリング防止機能付。
・省電力モード。
主弁構造がメタルシール。
豊富なサイズバリエーション。
中・大型シリンダ駆動用。
豊富なマニホールドオプション。
制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
切換方式2位置シングル
ポート数5
使用圧力範囲(MPa)0.1~1.0
管接続口径Rc1/8
使用流体空気、不活性ガス
ボディ形式パイロット個別排気
流量特性Cv{1→4/2(P→A/B)}0.38
主弁構造がメタルシール。
豊富なサイズバリエーション。
中・大型シリンダ駆動用。
豊富なマニホールドオプション。
制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
ポート数5
切換方式2位置シングル
定格圧力範囲(MPa)(ISE20B) -0.1 ~ 1
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
ポート数5
切換方式3位置クローズドセンタ
リード線取出方法プラグインコンジットターミナル
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
切換方式2位置シングル
ポート数5
使用圧力範囲(MPa)0.1~1.0
定格電圧AC200(50/60Hz)
使用流体空気、不活性ガス
ボディ形式パイロット個別排気
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
切換方式2位置シングル
ポート数5
使用圧力範囲(MPa)0.1~1.0
定格電圧AC200(50/60Hz)
使用流体空気、不活性ガス
ボディ形式ノンプラグインサブプレート
主弁構造がメタルシール。
豊富なサイズバリエーション。
中・大型シリンダ駆動用。
豊富なマニホールドオプション。
制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
ポート数5
使用流体空気、不活性ガス
定格電圧AC200(50/60Hz)
切換方式2位置シングル
使用圧力範囲(MPa)0.1~1.0
ボディ形式パイロット個別排気
流量範囲(L/min)(202) 20~2000
管接続口径(06) 3/4
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
ポート数5
使用流体空気、不活性ガス
定格電圧DC24V
切換方式2位置シングル
使用圧力範囲(MPa)0.1~1.0
ボディ形式パイロット個別排気
表示単位(M) SI 単位固定
定格圧力範囲(MPa)(ISE20C) -0.1 ~ 1
定格圧力範囲(kPa)(ZSE20AF) -100 ~ 100
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
切換方式2位置シングル
ポート数5
流量レンジ(L/min)(03) 30~3000
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
定格流量(L/min)0.2~10(5)
・一体型、モニタ分離型を用意。
・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。
・積算流量、瞬時流量切換可能。
・高温90℃ も対応可。
・IP65
仕様(-) 取扱説明書
定格圧力範囲(kPa)(ZSE20CF) -100 ~ 100
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
切換方式2位置シングル
ポート数5
使用圧力範囲(MPa)0.1~1.0
定格電圧AC100(50/60Hz)
使用流体空気、不活性ガス
ボディ形式パイロット個別排気
乾燥空気、N2、Ar、CO2
1台で幅広い流量の計測が可能
レンジアビリティ 100:1、最小設定単位 0.01L/min
耐ドレン・耐異物性向上
小型・軽量 質量:27.3%低減(55g→40g)
低消費電流:35mA以下
ノングリース
IO-Link対応
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
切換方式3位置クローズドセンタ
ポート数5
主弁構造がメタルシール。
豊富なサイズバリエーション。
中・大型シリンダ駆動用。
豊富なマニホールドオプション。
制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
ポート数5
切換方式2位置シングル
リード線取出方法プラグインコンジットターミナル
周囲温度および使用流体温度(℃)-10~60
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
切換方式3位置エキゾーストセンタ
ポート数5
・主弁構造がメタルシール。
・豊富なサイズバリエーション。
・中・大型シリンダ駆動用。
・豊富なマニホールドオプション。
・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ)
・マニホールド型式:VV5FS1,VV5FS2,VV5FS3,VV5FS4,VV5FS5
ポート数5
切換方式2位置シングル
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