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真空回路および空気中汚染物によるトラブル防止 配管チューブがワンタッチで取付け、取外しが可能

使用圧力範囲：-100kPa～1.0MPa1台で正圧・真空圧の使用が可能。 回り止め機構採用正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止します。 2種の透明ケース材質を用意ポリカーボネート(標準)、ナイロン(オーダーメイド)

使用圧力範囲：-100kPa～1.0MPa1台で正圧・真空圧の使用が可能。 回り止め機構採用正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止します。 2種の透明ケース材質を用意ポリカーボネート(標準)、ナイロン(オーダーメイド)

ZFCシリーズ用交換用エレメント

真空回路および空気中汚染物によるトラブル防止 大きなエレメントろ過面積

使用圧力範囲：-100kPa～1.0MPa1台で正圧・真空圧の使用が可能。 回り止め機構採用正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止します。 2種の透明ケース材質を用意ポリカーボネート(標準)、ナイロン(オーダーメイド)

使用圧力範囲：-100kPa～1.0MPa1台で正圧・真空圧の使用が可能。 回り止め機構採用正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止します。 2種の透明ケース材質を用意ポリカーボネート(標準)、ナイロン(オーダーメイド)

ライトアングル角形圧力計/アタッチメントを追加 フラットで一体感のあるデザイン 視認性&耐環境性向上、2層構造透明ケースガードでケース全周をカバー、視認性向上：360°

・視認性&耐環境性向上 ・作業性向上 エレメントとケースの一体化により手元でのエレメント交換が可能に。 ・メンテナンススペース削減：最大46%減 ・レギュレータ：設定圧力0.05～0.85MPa、0.02～0.2MPa ・選べる圧力計 角形埋込式圧力計、丸形圧力計、デジタル圧力スイッチ

省エネ機能付真空用圧力スイッチ、空気消費量：90%削減(メーカー測定条件による)、消費電力：60%削減【0.4W←1W(従来品)】、真空破壊圧力：0MPa～【0MPa～←0.3MPa～(従来品)】、コピー機能：設定工数削減・設定値の入力ミス低減 エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応

・配管工数削減/省スペース ・各機器をコンパクトに一体化 ・短ピッチ取付可能 圧力の集中管理がコンパクトに実現 ・接流体部：ノングリース

・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。 手軽にクリーンエアが得られます。 ・ろ過度：0.01μm(捕集効率99.99%)。 ・流体接触部：ノングリース、シリコンフリー。 ・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。 ・24種類の組合せが可能。 注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当

・配管工数削減/省スペース ・各機器をコンパクトに一体化 ・短ピッチ取付可能 圧力の集中管理がコンパクトに実現 ・接流体部：ノングリース

・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。 手軽にクリーンエアが得られます。 ・ろ過度：0.01μm(捕集効率99.99%)。 ・流体接触部：ノングリース、シリコンフリー。 ・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。 ・24種類の組合せが可能。 注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当