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関連キーワード
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
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・小型、軽量、省スペース。
定格流量(L/min)0.5~25(12.5)
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・スプール弁を2本内蔵。
・バルブ1台で真空吸着・破壊の制御が可能。
・幅10mm(SJ3000シリーズと同等サイズ)
・破壊エアの流量調整ができる絞り弁付。
・真空側、破壊側それぞれに交換可能なフィルタを内蔵。
・4ポートソレノイドバルブSJ2000/3000との混載可能(オーダーメイド)
・マニホールド型式:SS3J3
シリーズSJ3000
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定格流量(L/min)0.2~10(5)
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定格流量(L/min)1~50(25)
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定格流量(L/min)0.5~25(12.5)
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定格流量(L/min)2~100(50)
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定格流量(L/min)1~50(25)
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入力仕様電圧入力
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入力仕様電圧入力
・ボディ材質にNewPFAを採用、高い耐食性を実現しました。
・クリーンルーム で組付、2重梱包(PAP331)。
また、サイドボディ、ポートは 成型部品 とすることで、より低発塵化を計りました。
・ポンプのリセットボタンを手動で操作できる環境にない場合、このような回路を組んでエアの圧力でリセットできます。
・外部の切換弁による制御のため一定サイクルでの動作が可能。
・外部電磁弁のON/OFFサイクル数で流量調整が簡単にできます。
・微少流量、気体巻き込み時の作動でも安定した運転が可能。
・稼動・停止を繰り返す用途に向いています。
フィルター(F)フィルタ付
・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。
・流体接触部:ノングリース、シリコンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。
注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1~1.6.1相当
・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。
・流体接触部:ノングリース、シリコンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。
注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1~1.6.1相当
フィルター(F)フィルタ付
仕様フィルタ:(F) フィルタ付
・配管工数削減/省スペース
・各機器をコンパクトに一体化
・短ピッチ取付可能
圧力の集中管理がコンパクトに実現
・接流体部:ノングリース
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
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