真空用圧力計
圧力レンジ:-100~200kPa
アタッチメント(C2) 透明カバー突出有(透明カバー取外可能,スパナ掛かり部突出あり)
負圧側圧力単位kPa
・ひとつのコントローラで4台分の流量管理が可能。
・異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。
・ひとつのコントローラで4台分の流量管理が可能。
・異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。
・ひとつのコントローラで4台分の流量管理が可能。
・異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。
・ひとつのコントローラで4台分の流量管理が可能。
・異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
1個
¥55,980
税込¥61,578
10日以内出荷
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
ねじの種類Rc
・ひとつのコントローラで4台分の流量管理が可能。
・異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
配管ワンタッチ管継手Φ6mm(ストレートタイプ)
表示単位単位切換機能付
出力仕様NPNオープンコレクタ1出力
定格圧力範囲(kPa)0~-101
リード線リード線なし
RoHS指令(10物質対応)対応
消費電流25mA以下
1個
¥6,898
税込¥7,588
41日以内出荷
・微小ワークの吸着確認。
・繰返し精度±2%F.S.
・応答速度5ms以下、耐圧500kPa
・ノングリース、RoHS対応。
・電圧モニタ 一つで全レンジ対応。
・関連機器:サクションフィルタ ZFC050シリーズ
RoHS指令(10物質対応)対応
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
配管R1/8
表示単位SI単位固定
出力仕様NPNオープンコレクタ1出力
RoHS指令(10物質対応)対応
定格圧力範囲(MPa)-0.1~1
消費電流25mA以下
オーダーメイド仕様コネクタ付リード線 端子カバー対応
1個
¥8,798
税込¥9,678
41日以内出荷
適用流体:空気, N2。レンジアビリティ 100:1。 1台で幅広い流量の計測が可能。耐ドレン・異物性能向上。圧力損失75%低減(20kPa→5kPa)。エアコンビネーションに接続可能(モジュラタイプ)
用途モジュラタイプ
タイプ表示一体型
電源電圧DC24V±10%
適合流体空気・窒素
RoHS指令(10物質対応)対応
取扱説明書取扱説明書(3.07MB)
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加
20A Seriesに微圧レンジを追加
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流:25mA以下
出力NPNオープンコレクタ1出力
配管ワンタッチ管継手Φ6mm(エルボタイプ)
単位SI単位固定
定格圧力範囲(kPa)0~-101
適合流体空気・非腐食性ガス・不燃性ガス
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥7,798
税込¥8,578
41日以内出荷
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加
20A Seriesに微圧レンジを追加
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流:25mA以下
出力NPNオープンコレクタ2出力+アナログ電圧出力
配管ワンタッチ管継手Φ4mm
単位SI単位固定
定格圧力範囲(kPa)-100~100
RoHS指令(10物質対応)対応
オーダーメイド仕様コネクタ付リード線 端子カバー対応
1個
¥8,998
税込¥9,898
41日以内出荷
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流:25mA以下
仕様単位切換機能付
配管R1/8
出力仕様NPNオープンコレクタ2出力+コピー機能
定格圧力範囲(kPa)0~-101
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥7,698
税込¥8,468
41日以内出荷
乾燥空気、N2、Ar、CO2
1台で幅広い流量の計測が可能
レンジアビリティ 100:1、最小設定単位 0.01L/min
耐ドレン・耐異物性向上
小型・軽量 質量:27.3%低減(55g→40g)
低消費電流:35mA以下
ノングリース
IO-Link対応
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流(mA)25以下
配管R1/4(M5めねじ付)
単位SI単位固定
出力仕様NPNオープンコレクタ2出力+コピー機能
RoHS指令(10物質対応)対応
定格圧力範囲(MPa)-0.1~1
配管方向背面配管
オーダーメイド仕様リード線長さ3m
1個
¥21,980
税込¥24,178
66日以内出荷
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流(mA)25以下
表示単位単位切換機能付
定格圧力範囲(kPa)0~-101
RoHS指令(10物質対応)対応
適用流体:空気, N2。レンジアビリティ 100:1。 1台で幅広い流量の計測が可能。耐ドレン・異物性能向上。圧力損失75%低減(20kPa→5kPa)。IO-Link対応。エアコンビネーションに接続可能(モジュラタイプ)
用途モジュラタイプ
タイプ表示一体型
適合流体空気・窒素
RoHS指令(10物質対応)対応
取扱説明書取扱説明書(4.31MB)
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)9.5
ねじの種類Rc
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加
20A Seriesに微圧レンジを追加
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流:25mA以下
出力NPNオープンコレクタ2出力+コピー機能
配管ワンタッチ管継手Φ6mm(エルボタイプ)
単位単位切換機能付(初期値psi)
定格圧力範囲(kPa)0~-101
適合流体空気・非腐食性ガス・不燃性ガス
リード線なし
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥7,798
税込¥8,578
41日以内出荷
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流:25mA以下
配管R1/8
単位SI単位固定
出力仕様NPNオープンコレクタ1出力
定格圧力範囲(kPa)-100~100
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥8,898
税込¥9,788
41日以内出荷
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流:25mA以下
配管R1/8
表示単位SI単位固定
出力仕様NPNオープンコレクタ2出力+コピー機能
適合流体空気・非腐食性ガス・不燃性ガス
RoHS指令(10物質対応)対応
定格圧力範囲(MPa)0~-101
1個
¥7,698
税込¥8,468
39日以内出荷
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加、20A Seriesに微圧レンジを追加、設定項目の見える化、簡単3ステップ設定、簡単画面切替、ディレー時間:最速1.5ms以下、消費電流:25mA以下
仕様単位指定:SI単位固定、配管:R1/8
ブラケット垂直取付
出力仕様NPNオープンコレクタ2出力+コピー機能
RoHS指令(10物質対応)対応
定格圧力範囲(MPa)-0.1~1
オーダーメイド仕様コネクタ付リード線 端子カバー対応
1個
¥8,398
税込¥9,238
4日以内出荷
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
配管ワンタッチ管継手Φ4mm(ストレートタイプ)
表示単位SI単位固定
出力仕様NPNオープンコレクタ2出力+アナログ電圧出力
定格圧力範囲(kPa)-100~100
適合流体空気・非腐食性ガス・不燃性ガス
RoHS指令(10物質対応)対応
消費電流25mA以下
オーダーメイド仕様コネクタ付リード線 端子カバー対応
1個
¥8,798
税込¥9,678
41日以内出荷
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流(mA)25以下
配管ワンタッチ管継手Φ6mm
表示単位SI単位固定
出力仕様NPNオープンコレクタ出力
RoHS指令(10物質対応)対応
定格圧力範囲(MPa)-0.1~1
オーダーメイド仕様検査成績書(シリアルNo.付)添付、トレーサビリティ体系図添付、校正証明書添付
1個
¥9,998
税込¥10,998
41日以内出荷
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
・1台で流量を自動調整。・乾燥空気, N2, Ar, CO2。・カラー表示・2画面表示対応。 瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認。・IO-Linkに対応。・レンジアビリティ 100:1。・1台で幅広い流量の制御が可能
使用流体乾燥空気、N2、Ar、CO2
RoHS指令(10物質対応)対応
取扱説明書(2.09MB)
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加
20A Seriesに微圧レンジを追加
測定値を見ながら設定が可能
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流:25mA以下
仕様デジタルフィルタ:0, 10, 50, 100, 500, 1000, 5000ms
使用温度範囲(℃)動作時:‐5~50、保存時:‐10~60(結露および凍結しないこと)
規格UL/CSA(E216656)、CE/UKCAマーキング
耐電圧AC1000V 1分間 充電部一括と筐体間
精度表示精度:±2%F.S.±1digit(周囲温度25±3℃時)、繰返し精度:±0.2%F.S.±1digit、アナログ出力精度:±2.5%F.S.(周囲温度25±3℃時)、:アナログ出力直線性:±1%F.S.、温度特性:±2%F.S.(25℃基準)
表示表示方式:LCD、画面数:3画面(メイン画面、サブ画面×2)、表示色:メイン画面:赤/緑、サブ画面:橙、表示桁数:メイン画面:4桁(7セグメント)、サブ画面:4桁(上位1桁11セグメント、その他7セグメント)、動作表示灯:スイッチ出力ON時点灯(OUT1、OUT2:橙)
アナログ出力電圧出力:0.6~5V、出力インピーダンス:約1kΩ、電流出力:2.4~20mA、最大負荷インピーダンス(電源電圧12V時:300Ω、電源電圧24V時:600Ω)、最小負荷インピーダンス: 50Ω
入力無電圧入力:0.4V以下、入力モード:オートシフト、オートシフトゼロより選択、入力時間:5ms以上
電源電圧(V)DC12~24±10% リップル(p-p)10%以下
保護等級IP40
消費電流(mA)35以下
配管R1/8
単位SI単位固定
絶縁抵抗(MΩ)50以上(DC500Vメガにて) 充電部一括と筐体間
設定圧力範囲(MPa)‐0.105~1.050
耐圧力(MPa)1.5
出力仕様NPNオープンコネクタ+アナログ電圧出力
保護逆接続保護
RoHS指令(10物質対応)対応
定格圧力範囲(MPa)‐0.100~1.000
スイッチ出力出力形式:NPNまたはPNPオープンコレクタ2出力、出力モード:ヒステリシスモード、ウインドコンパレータモード、エラー出力、出力オフ、スイッチ動作:正転出力、反転出力、最大負荷電流:80mA、最大印加電圧(NPNのみ):28V、内部降下電圧(残留電圧):1V以下(負荷電流80mA時)、ディレー時間:1.5ms以下(チャタリング防止機能時:20, 100, 500, 1000, 2000, 5000ms選択)、応差(ヒステリシスモード・ウインドコンパレータモード):0から可変、短絡保護:装備
設定最小単位(MPa)0.001
使用湿度範囲(%RH)動作時・保存時:35~85(結露しないこと)
校正証明書あり
リード線長さ(m)コネクタ付:2
1個
¥10,980
税込¥12,078
当日出荷
汎用流体用20C SeriesにIO-Link対応を追加 [New]
20A Seriesに微圧レンジを追加 [New]
設定項目の見える化
簡単3ステップ設定
簡単画面切替
ディレー時間:最速1.5ms以下
消費電流:25mA以下
使用流体空気・非腐食性ガス・不燃性ガス
出力仕様NPNオープンコレクタ1出力
定格圧力範囲(kPa)0~-101
RoHS指令(10物質対応)対応
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)30
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
適用流体:空気, N2。レンジアビリティ 100:1。1台で幅広い流量の計測が可能。耐ドレン・異物性能向上。圧力損失75%低減(20kPa→5kPa)。IO-Link対応。エアコンビネーションに接続可能(モジュラタイプ)。4画面圧力/温度センサ付デジタルフロースイッチ(モジュラタイプ)を用意。(積算)流量/圧力/温度の同時計測が可能。
用途圧力・温度センサ付 モジュラタイプ
タイプ圧力/温度センサ付
電源電圧DC21.6~30V
適合流体空気・窒素
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(10.64MB)
取扱説明書取扱説明書(6.47MB)
ボックス形にノズル呼び径:Φ1.5、Φ1.8、Φ2.0追加[New]
小型・軽量
全長:最大11%減(直接配管形)
ポート高さ:最大25%減(直接配管形)
容積:最大39%減(ボックス形)
4種類の取付方法
サイレンサ/標準ブラケットを用意
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