「冷却水・温水循環装置 チラー等」の検索結果
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関連キーワード
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
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冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)30
ねじの種類Rc
CADデータあり
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
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セス装置に実績多数。
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冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
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・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
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冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
CADデータあり
冷却方式水冷冷凍式
ねじの種類Rc
CADデータあり
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
エコ商品
DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に応じてインバータ制御
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(8.19MB)
取扱説明書取扱説明書(30.44MB)
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
1個
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