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CADデータあり
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
ねじの種類Rc
CADデータあり
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
CADデータあり
冷却方式水冷冷凍式
ねじの種類Rc
仕様循環液タイプ:(1) エチレングリコール水溶液
エコ商品
DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に応じてインバータ制御
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(8.19MB)
取扱説明書取扱説明書(30.44MB)
・ノンフロン。・CO2冷媒を採用。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 ：GWP150以上。 米国冷媒規制 ：GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 ：GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ 循環液温調装置
質量(kg)175±5
外形寸法(mm)380×870×950
適合規格SEMI、CE/UKCA、UL
電源電圧3相AC200/200～208±10%(50/60Hz)
冷却方式水冷冷凍式
使用冷媒R744(CO2、GWP:1)
温度制御方式PID制御
設定温度範囲-20～90℃/(温度安定性)±0.1
周囲温度(℃)10～35
冷却能力(kW)10
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.92MB)
取扱説明書取扱説明書(8.21MB)
運転電流(A)最大26
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