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関連キーワード
・水蒸気制御用。
・PTFEシールを採用。
・エアオペレート形。
作動方式パイロット式
ポート数2
3色表示・2画面表示の流量センサ。
温度センサを一体化。
40%小型化(メーカーPF2W比較)
IP65対応、ノングリース仕様。
使用流体温度0~90℃
塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
3色表示2画面表示の流量センサ。
温度センサを一体化。
40%小型化(メーカーPF2W比較)
IP65対応、ノングリース仕様。
使用流体温度0~90℃
塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)薬液に対応。
定格流量(L/min)10~100
・3色表示・2画面表示の流量センサ。
・温度センサを一体化。
・40%小型化(メーカーPF2W比較)
・IP65対応、ノングリース仕様。
・使用流体温度0~90℃
・塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
・一体型、モニタ分離型を用意。
・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。
・積算流量、瞬時流量切換可能。
・高温90℃ も対応可。
・IP65
ポート数2
使用流体水
ポート数2
使用流体水
ポート数2
使用流体水
ポート数2
使用流体水
ポート数2
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)15
使用流体水用
口径1/2
ポート数2
口径3/4
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)20
使用流体水用
ポート数2
ポート数2
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)25
使用流体水用
口径1
ポート数2
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)10
使用流体水用
・3色表示・2画面表示の流量センサ。
・温度センサを一体化。
・40%小型化(メーカーPF2W比較)
・IP65対応、ノングリース仕様。
・使用流体温度0~90℃
・塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
・3色表示・2画面表示の流量センサ。
・温度センサを一体化。
・40%小型化(メーカーPF2W比較)
・IP65対応、ノングリース仕様。
・使用流体温度0~90℃
・塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
定格流量(L/min)0.5~4
・水蒸気制御用。
・PTFEシールを採用。
・インジケータ付(オプション)
・エアオペレート形。
作動方式パイロット式
ポート数2
・水蒸気制御用。
・PTFEシールを採用。
・インジケータ付(オプション)
・エアオペレート形。
作動方式パイロット式
ポート数2
・ボディセンサ:NewPFA,チューブ:SuperPFA
・低発塵、優れた置換特性。
ポート数2
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)20
使用流体水用
口径3/4
管接続口径(32A) 1 1/4
型式VND5
オリフィス径(Φmm)32
バルブ(0) N.C.
型式VND2
オリフィス径(Φmm)15
バルブ(2) N.O.
型式VND1
オリフィス径(Φmm)7
バルブ(4) N.C.
型式VND1
オリフィス径(Φmm)7
バルブ(2) N.O.
ポート数2
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)10
使用流体水用
管接続口径(20A) 3/4
型式VND3
オリフィス径(Φmm)20
バルブ(0) N.C.
型式VND2
オリフィス径(Φmm)15
バルブ(0) N.C.
型式VND2
オリフィス径(Φmm)15
バルブ(0) N.C.
ポート数2
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)25
使用流体水用
口径1
ポート数2
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)15
使用流体水用
ポート数2
口径3/4
ねじの種類Rc
オリフィス径(Φmm)20
使用流体水用
・一体型、モニタ分離型を用意。
・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。
・積算流量、瞬時流量切換可能。
・高温90℃ も対応可。
・IP65
ポート数2
使用流体水
ポート数2
使用流体水
ポート数2
口径1/2
オリフィス径(Φmm)10
ポート数2
使用流体水
使用流体水
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