・電気信号に比例して水流量を無段階に制御。・流量制御精度:±5%F.S.。・応答時間:10s以下。・ノングリース
用途水用
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(1.38MB)
流量範囲(L/min)5~40
1個
¥33,980
税込¥37,378
10日以内出荷
・水蒸気制御用。
・PTFEシールを採用。
・エアオペレート形。
作動方式パイロット式
ポート数2
冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
流量範囲(L/min)10~100
3色表示・2画面表示の流量センサ。
温度センサを一体化。
40%小型化(メーカーPF2W比較)
IP65対応、ノングリース仕様。
使用流体温度0~90℃
塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
・3色表示・2画面表示の流量センサ。
・温度センサを一体化。
・40%小型化(メーカーPF2W比較)
・IP65対応、ノングリース仕様。
・使用流体温度0~90℃
・塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
定格流量(L/min)0.5~4
・ひとつのコントローラで4台分の流量管理が可能。
・異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。
・3色表示・2画面表示の流量センサ。
・温度センサを一体化。
・40%小型化(メーカーPF2W比較)
・IP65対応、ノングリース仕様。
・使用流体温度0~90℃
・塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
定格流量(L/min)5~40
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
・3色表示・2画面表示の流量センサ。
・温度センサを一体化。
・40%小型化(メーカーPF2W比較)
・IP65対応、ノングリース仕様。
・使用流体温度0~90℃
・塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
・ひとつのコントローラで4台分の流量管理が可能。
・異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。
3色表示2画面表示の流量センサ。
温度センサを一体化。
40%小型化(メーカーPF2W比較)
IP65対応、ノングリース仕様。
使用流体温度0~90℃
塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)薬液に対応。
定格流量(L/min)10~100
・3色表示・2画面表示の流量センサ。
・温度センサを一体化。
・40%小型化(メーカーPF2W比較)
・IP65対応、ノングリース仕様。
・使用流体温度0~90℃
・塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
作動方式パイロット式
ポート数2
・ひとつのコントローラで4台分の流量管理が可能。
・異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。
・水蒸気制御用。
・PTFEシールを採用。
・インジケータ付(オプション)
・エアオペレート形。
作動方式パイロット式
ポート数2
・水蒸気制御用。
・PTFEシールを採用。
・インジケータ付(オプション)
・エアオペレート形。
作動方式パイロット式
ポート数2
ねじの種類Rc
管接続口径1
1個
¥39,980
税込¥43,978
21日以内出荷
・水蒸気制御用。
・PTFEシールを採用。
・インジケータ付(オプション)
・エアオペレート形。
作動方式パイロット式
ポート数2
管接続口径3/4
・水蒸気制御用。
・PTFEシールを採用。
・インジケータ付(オプション)
・エアオペレート形。
作動方式パイロット式
ポート数2
・ボディセンサ:NewPFA,チューブ:SuperPFA
・低発塵、優れた置換特性。
・ボディセンサ:NewPFA,チューブ:SuperPFA
・低発塵、優れた置換特性。
・一体型、モニタ分離型を用意。
・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。
・積算流量、瞬時流量切換可能。
・高温90℃ も対応可。
・IP65
ポート数2
ポート数2
使用流体水用
口径50Aフランジ
ポート数2
使用流体水用
口径40Aフランジ
管接続口径(50A) 2
型式VND7
オリフィス径(Φmm)50
バルブ(0) N.C.
ポート数2
管接続口径(40A) 1 1/2
型式VND6
オリフィス径(Φmm)40
バルブ(2) N.O.
ポート数2
管接続口径(25A) 1
型式VND4
オリフィス径(Φmm)25
バルブ(0) N.C.
型式VND1
オリフィス径(Φmm)7
バルブ(2) N.O.
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
型式VND2
オリフィス径(Φmm)15
バルブ(0) N.C.
・軽量:最大53%削減(40L/min、温度センサ付の場合)。・3色表示・2画面表示対応。・温度センサ&流量調整弁に対応。・使用流体温度0~90℃。・3画面4チャンネルフローモニタ PFG200 Series対応
用途・適用流体:水、エチレングリコール水溶液
仕様(表示一体型/単位)瞬時流量:L/min、積算流量:L、温度:℃
タイプ表示一体型
使用圧力範囲(MPa)0~1
検出方式カルマン渦式
耐圧力(MPa)1.5
適合流体水及びエチレングリコール水溶液(ただし粘度3mPa・s(3cP)以下)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
関連資料カタログ(11.96MB)
取扱説明書(4.76MB)
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