専用工具で流量調整が可能
不用意な手動操作を防止
使用圧力範囲(MPa)0.1~1
制御方式(0) メータアウト
使用流体空気
保証耐圧力(MPa)1.5
適合チューブ材質ナイロン、ソフトナイロン、ポリウレタン(※ソフトナイロン、ポリウレタンは最高使用圧力にご注意ください)
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
・スプール弁を2本内蔵。
・バルブ1台で真空吸着・破壊の制御が可能。
・幅10mm(SJ3000シリーズと同等サイズ)
・破壊エアの流量調整ができる絞り弁付。
・真空側、破壊側それぞれに交換可能なフィルタを内蔵。
・4ポートソレノイドバルブSJ2000/3000との混載可能(オーダーメイド)
・マニホールド型式:SS3J3
シリーズSJ3000
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
オリフィス径(Φmm)4
耐圧(MPa)1
弁漏れ(cm3/min)0(水圧にて)
周囲温度(℃)0~60
流量特性Av×10-6m2:8.4、Cv:0.35
ポート径M5
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
・ボディ材質にNewPFAを採用、高い耐食性を実現しました。
・クリーンルーム で組付、2重梱包(PAP331)。
また、サイドボディ、ポートは 成型部品 とすることで、より低発塵化を計りました。
・ポンプのリセットボタンを手動で操作できる環境にない場合、このような回路を組んでエアの圧力でリセットできます。
・外部の切換弁による制御のため一定サイクルでの動作が可能。
・外部電磁弁のON/OFFサイクル数で流量調整が簡単にできます。
・微少流量、気体巻き込み時の作動でも安定した運転が可能。
・稼動・停止を繰り返す用途に向いています。
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
管接続口径(10) 1
材質(アクチュエータ)PPS
材質(ボディ)(A) SUS
材質(ダイヤフラム)PTFE
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
省エネエジェクタ
真空到達時供給エアカット:空気消費量93%削減(メーカー測定条件による)
エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)
省エネ効果(金額換算):93%削減
高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上
供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
省エネエジェクタ
真空到達時供給エアカット:空気消費量93%削減(メーカー測定条件による)
エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)
省エネ効果(金額換算):93%削減
高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上
供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
省エネエジェクタ
真空到達時供給エアカット:空気消費量 93%削減(メーカー測定条件による)
エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)
省エネ効果(金額換算):93%削減
高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上
供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用
定格流量(L/min)(10) 0.2~10(5)
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
省エネエジェクタ
真空到達時供給エアカット:空気消費量93%削減(メーカー測定条件による)
エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)
省エネ効果(金額換算):93%削減
高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上
供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用
定格電圧(V)(5) 24 DC
弁仕様流量調整弁なし
流量レンジ(L/min)(10) 0.2~10(5)
弁仕様流量調整弁なし
流量レンジ(L/min)(25) 0.5~25(12.5)
弁仕様流量調整弁あり
流量レンジ(L/min)(50) 1~50(25)
弁仕様流量調整弁なし
流量レンジ(L/min)(11) 2~100(50)
弁仕様流量調整弁なし
流量レンジ(L/min)(50) 1~50(25)
定格流量(L/min)(25) 0.5~25(12.5)
定格流量(L/min)(25) 0.5~25(12.5)
流量調整方式(S) 弁あり
仕様流量調整弁あり
弁仕様流量調整弁あり
流量レンジ(L/min)(50) 1~50(25)
弁仕様流量調整弁なし
流量レンジ(L/min)(25) 0.5~25(12.5)
弁仕様流量調整弁あり
流量レンジ(L/min)(10) 0.2~10(5)
フィルター(F)フィルタ付
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