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・ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。
・フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
電源単相AC180～242V(50/60Hz)
冷却方式ペルチェ素子
・ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。
・フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)30
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
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