処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
型式IDF11E
仕様異常信号取出用端子台付
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
仕様異常信号取出用端子台付
型式IDF75E
電圧(V)(30) 三相 AC200V (50 Hz)、AC200/220V (60 Hz)
圧縮空気冷却用(A) 圧縮空気冷却用
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
仕様異常信号取出用端子台付
型式IDF6E
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
電圧(V)三相 AC200(50Hz)、AC200/220(60Hz)
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
仕様異常信号取出用端子台付
型式IDF55E
電圧(V)(30) 三相 AC200V (50 Hz)、AC200/220V (60 Hz)
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
仕様異常信号取出用端子台付
型式IDF8E
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
仕様異常信号取出用端子台付
型式IDF4E
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
仕様異常信号取出用端子台付
型式IDF22E
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
・ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。
・フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
・ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。
・フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
電源単相AC180~242V(50/60Hz)
冷却方式ペルチェ素子
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)30
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
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