・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数5
バルブ(-)標準
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
バルブ(-)標準
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
バルブ(V)真空仕様形
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
バルブ(Y)低ワット用
ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
コンパクト/幅18×長63(mm)
低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
真空使用可能:-101.2kPa
銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
バルブ(W)真空・低ワット用
ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
コンパクト/幅18×長63(mm)
低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
真空使用可能:-101.2kPa
銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
バルブ(V)真空仕様形
・リニアガイドの剛性向上でテーブル変位量48%低減。 ピッチ方向変位量:48%減(0.31mm→0.16mm)。 ヨー方向変異量:63%減(0.24mm→0.09mm)。 ロール方向変位量:90%減(0.06mm→0.006mm)。・最大標準ストローク150mm(Φ20の場合)。・質量 最大6%削減(194g→182g)。・取付寸法、全長寸法は既存製品MXHシリーズと同等
RoHS指令(10物質対応)対応
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数5
定格圧力範囲(MPa)(ISE20B) -0.1 ~ 1
・柔軟。
・最高使用圧力0.8MPa以下(20℃時)
・可動部配管用。
内径(Φmm)4
使用流体空気
材質ポリウレタン
外径(Φmm)6
色黒
最高使用圧力(MPa)0.8(20℃)
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
バルブ(W)真空・低ワット用
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
バルブ(Y)低ワット用
・小型で最大出力16点
・多種の通信ネットワークに対応
定格圧力範囲(kPa)(ZSE20F)100~100
定格圧力範囲(MPa)(ZSE20F) ~100 ~ 100
RoHS指令(10物質対応)対応
定格圧力範囲(MPa)-0.1~1
関連資料カタログ(12.35MB)
取扱説明書取扱説明書(3.3MB)
ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
コンパクト/幅18×長63(mm)
低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
真空使用可能:-101.2kPa
銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
FA環境における通信の安定性を実現
RoHS指令(10物質対応)対応
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数5
切換方式直動形2位置シングルソレノイド
使用流体空気
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数5
切換方式直動形2位置シングルソレノイド
使用流体空気
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
切換方式直動形2位置シングルソレノイド
使用流体空気
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
ポート数3
切換方式直動形2位置シングルソレノイド
使用流体空気
・ユニバーサルポーティング
N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能
C:0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合)
・コンパクト/幅18×長63(mm)
・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ)
・真空使用可能:-101.2kPa
・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。
チューブ内径(inch)5/32
内径(Φmm)3.95
使用流体薬液・脱イオン水(純水)
材質PFA
チューブ外径(inch)1/4
外径(Φmm)6.35
色半透明(素材色)
最高使用圧力(MPa)1.7(20℃)
定格圧力範囲(kPa)(ZSE20A) 0 ~ -101
定格圧力範囲(kPa)(ZSE20AF) -100 ~ 100
仕様(-) 取扱説明書
表示単位(M) SI 単位固定
リード線(W) コネクタ付リード線、5芯 (リード線長さ2m、防水カバー付)
定格圧力範囲(MPa)(ISE20CH) -0.1 ~ 2
配管方向(-) 背面配管
最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意
空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合)
質量最大60%削減[ZL1:180g→ZL112(従来品):450g]
3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比)
吸込流量250%向上
3種類の真空圧力検出部
工具不要!メンテナンス工数の削減が可能
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