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・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・ユニバーサルポーティングタイプ。 ・圧力は0MPaから使用可能。

・SY3000/5000/7000シリーズのノンプラグインタイプマニホールドと 同一のマニホールドが用意されています。

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。 ・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。 ・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。 ・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。 常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。 ・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。

・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。

・主弁構造はメタルシール方式。

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・VP300/500/700シリーズの内部パイロット仕様のマニホールドと同一の マニホールドが用意されています。 ・N.C./N.O.の変更が容易。

・一体型、モニタ分離型を用意。 ・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。 ・積算流量、瞬時流量切換可能。 ・IP65

・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。

・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。

・省電力 消費電力：0.4W(標準) ・バルブの増減連が容易 ・ワンビス取付によりメンテナンス工数削減 ・ワンタッチ管継手交換が、クリップ式で簡単 ・コネクタ取出し方向がワンプッシュで変更可能 ・4位置デュアル3ポート弁 ・背圧防止弁内蔵(オプション) ・マニホールド型式：SS5Q13，SS5Q14，SS5Q23，SS5Q24

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。

・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。 ・角度調整可能。揺動端±5° (ダブル±2.5°) ・テーブル面の振れ精度：0.03mm以内(MSUA) ・接続ポート位置：ボディ側面、軸方向の選択可能。 (スイッチ付の場合ボディ側面のみ) ・オートスイッチ取付位置を任意の場所に移動可能。 ・オートスイッチ付(MDSUシリーズ：MDSUA、MDSUB)

・ロータリアクチュエータを駆動源としたため高さ方向の小型化を実現。 ・繰り返し精度 ±0.01mm ・クリーンルームクラス10に対応可。 ・オートスイッチ付(MDHR2シリーズ：MDHR2)