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バルブ・スイッチをユニット化 マニホールド化可能 最大吸収流量40%UP 最高真空圧力-84kPa

・SY3000/5000/7000シリーズのノンプラグインタイプマニホールドと 同一のマニホールドが用意されています。

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。 ・角度調整可能。揺動端±5° (ダブル±2.5°) ・テーブル面の振れ精度：0.03mm以内(MSUA) ・接続ポート位置：ボディ側面、軸方向の選択可能。 (スイッチ付の場合ボディ側面のみ) ・オートスイッチ取付位置を任意の場所に移動可能。 ・オートスイッチ付(MDSUシリーズ：MDSUA、MDSUB)

・一体型、モニタ分離型を用意。 ・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。 ・積算流量、瞬時流量切換可能。 ・IP65

・1台で流量を自動調整・乾燥空気， N₂， Ar， CO₂・カラー表示・2画面表示対応 瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認・IO-Linkに対応・レンジアビリティ 100：1・1台で幅広い流量の制御が可能

・空気圧システムやエアハイドロ回路の制御用。 ・正逆流可能なバランスポペットタイプ。 ・エアオペレート形、外部パイロット電磁形。

・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。 ・角度調整可能。揺動端±5° (ダブル±2.5°) ・テーブル面の振れ精度：0.03mm以内(MSUA) ・接続ポート位置：ボディ側面、軸方向の選択可能。 (スイッチ付の場合ボディ側面のみ) ・オートスイッチ取付位置を任意の場所に移動可能。 ・オートスイッチ付(MDSUシリーズ：MDSUA、MDSUB)

・一体型、モニタ分離型を用意。 ・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。 ・積算流量、瞬時流量切換可能。 ・IP65

・空気圧システムやエアハイドロ回路の制御用。 ・正逆流可能なバランスポペットタイプ。 ・エアオペレート形、外部パイロット電磁形。

・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。 ・角度調整可能。揺動端±5° (ダブル±2.5°) ・テーブル面の振れ精度：0.03mm以内(MSUA) ・接続ポート位置：ボディ側面、軸方向の選択可能。 (スイッチ付の場合ボディ側面のみ) ・オートスイッチ取付位置を任意の場所に移動可能。 ・オートスイッチ付(MDSUシリーズ：MDSUA、MDSUB)

・全長が薄形に設計され装置のコンパクト化が実現する省スペースシリンダ。 ・4面に小型オートスイッチ取付可能(Φ12～Φ25は2面) ・オートスイッチの飛びだしがありません。 ・軽量：5～13%低減(従来CQ2比較) ・2山クレビス用受金具、コンパクトフート形金具を新たに追加 ・取付ボルト同梱、ロッド先端金具付品番を設定(別手配する手間が省けます) ・オートスイッチ付(CDQ2シリーズ：CDQ2、CDQ2W、 CDQ2K、CDQ2KW、CDQP2、CDQ2□S、CDBQ2)

・SYJ3000/5000/7000シリーズのマニホールドと同一のマニホールドが 用意されています。