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CADデータあり
CADデータあり
・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ。
CADデータあり
・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ
・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当
・安心の2段エレメント構造
第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメント捕集。
外部への再飛散を一定期間防止します。
CADデータあり
ねじの種類(F) G
付属品(B) ブラケット付
流れ方向(RT) 右→下 & 目詰まりチェッカ付
ボディサイズ4
CADデータあり
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
CADデータあり
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力 -84kPa
CADデータあり
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力-84kPa
ボディ型式マニホールド：個別供給バルブ付
搭載パイロット弁DC1Wタイプ(ランプ付：1.05W)
CADデータあり
バルブ・スイッチをユニット化
マニホールド化可能
最大吸収流量40%UP
最高真空圧力-84kPa
ボディ型式マニホールド：個別供給バルブ付
搭載パイロット弁DC1Wタイプ(ランプ付：1.05W)
長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
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