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・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。 手軽にクリーンエアが得られます。 ・ろ過度：0.01μm(捕集効率99.99%)。 ・流体接触部：ノングリース、シリコンフリー。 ・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。 ・24種類の組合せが可能。 注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当

・幅広い分野で活躍する、各種流体用ソレノイドバルブ ・耐食性向上 特殊磁性材採用 ・保護等級：IP65相当 ・静音構造 特殊構造により作動時の金属音を低減。(DC仕様) ・難燃性 UL94V-0準拠 難燃性モールドコイル材料 ・メンテナンス性向上 ・ナット方式によりメンテナンスが容易。 ・消費電力低減(DC仕様) VX31:6W→4.5W VX32:8W→7W VX33:11.5W→10.5W

最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能

・油・水・異物などの不純物を除去して、下流のドライヤの機能向上や精密フィルタの エレメント寿命を延長し、機器のトラブルを防止します。

●フラットで一体感のあるデザイン ●視認性&耐環境性向上

●フラットで一体感のあるデザイン ●視認性&耐環境性向上

最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能

1000万回以上/ライフ10倍以上 高いピーク圧力と少ない空気消費量 ピーク圧力：15%向上、空気消費量：35%削減 使用流体温度： -40～60℃ 低温から高温まで幅広い温度範囲に対応

ステンレス製コイルカバーを採用し、クリーン且つ耐環境性能が向上しております。【保護構造IP67】 ボディ材質はSUS(ステンレス)、真鍮(黄銅/青銅)、アルミからお選びいただけます。 コイルが360°回転する為、リード線の取扱いが容易です。 コイルの力10%向上(従来比)、消費電力14%削減(従来比)と、省エネ性能も向上しております。

横方向真空取出バーブ継手付。

・基本形標準タイプ(エアクッション) ・メカジョイント式ロッドレスシリンダMY1Bシリーズと比較し、高さ最大36%減、長さ 最大140mm短縮した省スペースシリンダ。 ・ガイド一体形により、ワークの直接積載が可能。

■空気圧システムの初期圧力の上昇を徐々に行う低速給気と、給気を遮断して急速排気が行える始動弁