・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
■透明ケースガードを採用■2層構造でケース全周をカバーし、耐環境性向上
RoHS指令(10物質対応)対応
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
定格流量(L/min)0.2~10(5)
型式IDU3E
定格圧力範囲(MPa)-0.100~1.000
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
■透明ケースガードを採用■2層構造でケース全周をカバーし、耐環境性向上
RoHS指令(10物質対応)対応
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
定格流量(L/min)1~50(25)
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
仕様異常信号取出用端子台付
型式IDU8E
定格圧力範囲(kPa)0.0~-101.0
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
定格流量(L/min)0.5~25(12.5)
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
定格流量(L/min)2~100(50)
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
●フラットで一体感のあるデザイン
●視認性&耐環境性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
3色表示・2画面表示の流量センサ。
温度センサを一体化。
40%小型化(メーカーPF2W比較)
IP65対応、ノングリース仕様。
使用流体温度0~90℃
塩化ビニル製配管タイプ:脱イオン水(純水)・薬液に対応。
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