・積載質量や必要精度に合せた幅広い選定が可能。
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
管接続口径(04) 1/2
流量範囲(L/min)(501) 5~500
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
定格流量(L/min)5~500
管接続口径(04) 1/2
流量範囲(L/min)(102) 10~1000
シリンダ内径(Φmm)40
作動方式複動
磁石内蔵有無(D) 磁石内蔵
処理空気量 MAX40%増(メーカー比)
消費電力 MAX40%減(メーカー比)
ステンレス製熱交換器採用により耐食性向上
電圧(V)三相 AC200(50Hz)、AC200/220(60Hz)
電圧(V)三相 AC200(50Hz)、AC200/220(60Hz)
定格流量(L/min)10~1000
ポート数5
使用流体空気・不活性ガス
チューブ内径(Φmm)20
作動方式複動
・積載質量や必要精度に合せた幅広い選定が可能。
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動
シリンダ内径(Φmm)40
作動方式複動
磁石内蔵有無(D) 磁石内蔵
・4種類のガイド形式を標準化。
・積載質量や必要精度に合せた幅広い選定が可能。
チューブ内径(Φmm)63
作動方式複動
粉塵、水滴飛散環境での防塵、耐水性が向上。サイドシールによりボディ側面の防塵、耐水性も向上
種類保護カバー付
作動方式複動
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(2.33MB)
オートスイッチ有無有
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