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・リニアガイドの剛性向上でテーブル変位量48%低減 ピッチ方向変位量：48%減(0.31mm→0.16mm) ヨー方向変異量：63%減(0.24mm→0.09mm) ロール方向変位量：90%減(0.06mm→0.006mm)・最大標準ストローク150mm(Φ20の場合)・質量 最大6%削減(194g→182g)・取付寸法、全長寸法は既存製品MXHシリーズと同等

エアシリンダに適した品質 アルミ製ケース採用により30%減(従来品JA40と比較) 軽量化によりエアシリンダへの横荷重低減 最大引張力1MPa相当 ワークとの接続の「芯ずれ」を吸収 取付寸法は従来品(JAシリーズ)と互換性あり

・チューブ挿入しやすい形状、またチューブ保持が確実。 ・スリーブ装着により保持が確実、また取り外す事によりチューブ離脱が容易 ・無電解ニッケルめっき付。 ・軽い締付トルク、確実なシール。

パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・スペースを取らないコンパクトサイズ ・低流量域での速度制御が容易 ・等質の速度制御が可能 ・ニードル弁抜け止め機構

削減される配管工数とコスト アクチュエータヘ直接ねじ込み装着ですから、継手、チューブが省略でき、配管の工数とコストが削減できます。 自由に設定できる配管方向 スイベルタイプですから取付後配管方向を自由に設定できます。 低流量域での速度制御が容易 等質の速度制御が可能 ニードル弁抜け止め機構

1個のスイッチで最大3点の位置判別が可能スイッチの取付・設定の工数削減エアチャックボディ端面からの出っ張りがなしツール(アタッチメント)の摩耗の見える化。生産性向上

・1台で流量を自動調整・乾燥空気， N₂， Ar， CO₂・カラー表示・2画面表示対応 瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認・IO-Linkに対応・レンジアビリティ 100：1・1台で幅広い流量の制御が可能

パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

全長：23+ストロークmm/幅：29mm/高さ：14.5mm(MGJ6) 5ストロークでもオートスイッチ2ケ取付可能。 配線・配管を1方向に集約。 不回転精度：±0.1°

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

コンパクト・軽量で優れた流量特性。高さ方向を短縮、コンパクトな装置設計ができます。 チューブ取付方向が360°自由自在。ニードル弁抜け止め機構付。

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能

豊富な機種で幅広い用途に対応できます。 パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形 パッド径/Φ2～Φ50

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能