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乾燥空気、N2、Ar、CO2 1台で幅広い流量の計測が可能 レンジアビリティ 100：1、最小設定単位 0.01L/min 耐ドレン・耐異物性向上 小型・軽量 質量：27.3%低減(55g→40g) 低消費電流：35mA以下 ノングリース IO-Link対応

・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。 ・角度調整機構付。 ・負荷取付、本体取付時の芯出しが容易。 ・ショックアブソーバ内蔵タイプと外部アブソーバ付の選択可能。

・水、クーラント液のかかる環境で使用可能。 ・耐水性向上13色表示式オートスイッチ付。 ・工作機械、食品機械、洗車機など。

適用流体：空気， N2。レンジアビリティ 100：1。 1台で幅広い流量の計測が可能。耐ドレン・異物性能向上。圧力損失75%低減(20kPa→5kPa)。エアコンビネーションに接続可能(モジュラタイプ)

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21