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・1台で流量を自動調整。・乾燥空気, N2, Ar, CO2。・カラー表示・2画面表示対応。 瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認。・IO-Linkに対応。・レンジアビリティ 100:1。・1台で幅広い流量の制御が可能
使用流体乾燥空気、N2、Ar、CO2
RoHS指令(10物質対応)対応
取扱説明書(2.09MB)
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