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・リニアガイドの剛性向上でテーブル変位量48%低減。 ピッチ方向変位量：48%減(0.31mm→0.16mm)。 ヨー方向変異量：63%減(0.24mm→0.09mm)。 ロール方向変位量：90%減(0.06mm→0.006mm)。・最大標準ストローク150mm(Φ20の場合)。・質量 最大6%削減(194g→182g)。・取付寸法、全長寸法は既存製品MXHシリーズと同等

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能