「scd」の検索結果
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CADデータあり
3段ディフューザ構造により吸込流量増加
デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能
CADデータあり
3段ディフューザ構造により吸込流量増加
デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
CADデータあり
3段ディフューザ構造により吸込流量増加
デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能
CADデータあり
3段ディフューザ構造により吸込流量増加
デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)30
ねじの種類Rc
エコ商品
・ノンフロン。・CO2冷媒を採用。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 ：GWP150以上。 米国冷媒規制 ：GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 ：GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ 循環液温調装置
質量(kg)175±5
外形寸法(mm)380×870×950
適合規格SEMI、CE/UKCA、UL
電源電圧3相AC200/200～208±10%(50/60Hz)
冷却方式水冷冷凍式
使用冷媒R744(CO2、GWP:1)
温度制御方式PID制御
設定温度範囲-20～90℃/(温度安定性)±0.1
周囲温度(℃)10～35
冷却能力(kW)10
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.92MB)
取扱説明書取扱説明書(8.21MB)
運転電流(A)最大26
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)8
ねじの種類Rc
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
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省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
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・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
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・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
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