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冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)30
ねじの種類Rc
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
CADデータあり
3段ディフューザ構造により吸込流量増加
デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)8
ねじの種類Rc
CADデータあり
3段ディフューザ構造により吸込流量増加
デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
冷却方式水冷却式
冷却能力(kW)15
ねじの種類Rc
CADデータあり
3段ディフューザ構造により吸込流量増加
デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能
CADデータあり
3段ディフューザ構造により吸込流量増加
デジタル真空スイッチ、真空圧力計等の機能の選定が可能
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セス装置に実績多数。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。
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冷却方式水冷却式
ねじの種類Rc
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
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省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
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・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
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シリーズVQ1000
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・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
シリーズVQ2000
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シリーズVQ2000
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シリーズVQ1000
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シリーズVQ2000
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