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電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能

電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能

・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造 アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7