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長寿命:300万回(常温時) 発塵量:1/5以下に低減(従来品比) メンテナンス性向上 容易なベローズ交換 トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド) 安全対策 メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応 開口窓寸法(mm)50X336 軸数とシール形式1軸ベローズ
1個
539,800 税込593,780
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1個
37,980 税込41,778
31日以内出荷
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・ロッドカバー、ヘッドカバー形状変更により質量削減(最大15%削減)。 ・エアクッション制御が容易クッションバルブ調整回転数を1回転から3回転に増加。 ・小型オートスイッチから耐強磁界オートスイッチまで取付可能。 ・設置状況に合った取付支持が可能、取付け自由度の向上。
1個
18,980 税込20,878
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1個
26,980 税込29,678
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32,980 税込36,278
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・中間停止や非常停止・落下防止に適したロック付シリンダ。 (両方向ロック) ・耐強磁界2色表示式無接点オートスイッチD-P3DW□シリーズ取付可能。 ・オートスイッチ付(CDNA2シリーズ:CDNA2,CDNA2W)
作動方式複動片ロッド 磁石内蔵有無(D) 磁石内蔵
1個
62,980 税込69,278
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1個
87,980 税込96,778
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74,980 税込82,478
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75,980 税込83,578
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