長寿命:300万回(常温時)
発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
チューブ内径(Φmm)80
作動方式複動片ロッド
・ロッドカバー、ヘッドカバー形状変更により質量削減(最大15%削減)。
・エアクッション制御が容易クッションバルブ調整回転数を1回転から3回転に増加。
・小型オートスイッチから耐強磁界オートスイッチまで取付可能。
・設置状況に合った取付支持が可能、取付け自由度の向上。
チューブ内径(Φmm)50
作動方式複動片ロッド
チューブ内径(Φmm)63
作動方式複動片ロッド
・中間停止や非常停止・落下防止に適したロック付シリンダ。
(両方向ロック)
・耐強磁界2色表示式無接点オートスイッチD-P3DW□シリーズ取付可能。
・オートスイッチ付(CDNA2シリーズ:CDNA2,CDNA2W)
作動方式複動片ロッド
磁石内蔵有無(D) 磁石内蔵
チューブ内径(Φmm)80
シリンダストローク(mm)300
作動方式複動片ロッド
磁石内蔵有無(D) 磁石内蔵
1個
¥87,980
税込¥96,778
31日以内出荷
チューブ内径(Φmm)63
作動方式複動片ロッド
磁石内蔵有無(D) 磁石内蔵
チューブ内径(Φmm)63
作動方式複動片ロッド
磁石内蔵有無(D) 磁石内蔵
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