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エコロジープロダクト
RoHS10物質対応(2)
「tp-30」の検索結果
NAAMS規格準拠 パワークランプシリンダSMC￥54,980～税込￥60,478～
1個
8日以内出荷
■新構造により小型化を実現■高クランプ力4000N■質量最大23%削減
RoHS指令(10物質対応)対応
XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブSMC￥539,800～税込￥593,780～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応開口窓寸法(mm)50X336軸数とシール形式1軸ベローズ
