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6インチ シリコンウエハー(P型 熱酸化膜加工 1，000A)グローバル・トップ・ケミカル￥139,800税込￥153,780
1箱(25枚)
9日以内出荷
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用、ダミー(モニター用)仕様導電型：P型、製造：CZサイズ6インチ直径(Φmm)150±0.5厚さ(μm)625±25仕上熱酸化膜(両面成膜)、1，000ű10%、オリフラ抵抗値≧1Ωcm方位面：100
8インチ シリコンウェハー(熱酸化膜加工 1，000A)グローバル・トップ・ケミカル￥179,800税込￥197,780
1箱(25枚)
10日以内出荷
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用仕様熱酸化膜：1，000ű10%サイズ8インチ直径(Φmm)200±0.2タイプ導電型：P型厚さ(μm)725±25仕上Vノッチ、両面成膜抵抗≧1Ω・cm方位100(面)
