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装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用、ダミー(モニター用)
仕様導電型：P型、製造：CZ
サイズ6インチ
直径(Φmm)150±0.5
厚さ(μm)625±25
仕上熱酸化膜(両面成膜)、1，000ű10%、オリフラ
抵抗値≧1Ωcm
方位面：100
1箱(25枚)
￥139,800
税込￥153,780
9日以内出荷
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用
仕様熱酸化膜：1，000ű10%
サイズ8インチ
直径(Φmm)200±0.2
タイプ導電型：P型
厚さ(μm)725±25
仕上Vノッチ、両面成膜
抵抗≧1Ω・cm
方位100(面)
1箱(25枚)
￥179,800
税込￥197,780
10日以内出荷
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