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6インチシリコンウエハー(P型熱酸化膜加工 1，000A)

6インチシリコンウエハー(P型熱酸化膜加工 1，000A) - グローバル・トップ・ケミカル

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装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

用途: 装置テスト用、ダミー(モニター用)
仕様: 導電型：P型、製造：CZ
サイズ: 6インチ
直径(Φmm): 150±0.5
厚さ(μm): 625±25
仕上: 熱酸化膜(両面成膜)、1，000Å±10%、オリフラ
抵抗値: ≧1Ωcm
方位: 面：100
内容量: 1箱(25枚)

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D6-P-25-SiO2-1，000A

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