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気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、質量流量計です。 マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、ワイドレンジアビリティを低価格で実現しました。 また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。
質量(g)約800 使用圧力範囲(MPa)-0.07~1.0 定格電圧(V)DC12~24 適合ガス水素、ヘリウム ただし腐食成分(塩素、硫黄、酸)を含まない乾燥気体であること。また、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること 関連資料(1.53MB) 流量レンジ(L/min)0~10(standard)
1個
229,800 税込252,780
61日以内出荷

気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、質量流量計です。 マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、ワイドレンジアビリティを低価格で実現しました。 また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。
質量(g)約800 使用圧力範囲(MPa)-0.07~1.0 定格電圧(V)DC12~24 適合ガス水素、ヘリウム ただし腐食成分(塩素、硫黄、酸)を含まない乾燥気体であること。また、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること 関連資料(1.53MB) 流量レンジ(L/min)0~200(standard)
1個
269,800 税込296,780
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気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、質量流量計です。 マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、ワイドレンジアビリティを低価格で実現しました。 また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。
質量(g)約800 使用圧力範囲(MPa)-0.07~1.0 定格電圧(V)DC12~24 関連資料(1.53MB) 流量レンジ(L/min)0~50(standard)
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229,800 税込252,780
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気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、質量流量計です。 マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、ワイドレンジアビリティを低価格で実現しました。 また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。
質量(g)約800 使用圧力範囲(MPa)-0.07~1.0 定格電圧(V)DC12~24 適合ガス窒素、空気、酸素、アルゴン、炭酸ガス(CO2)、都市ガス(13A)、メタン100%、プロパン100%、ブタン100%ただし、腐食成分(塩素、硫黄、酸など)を含まない乾燥気体であること。また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること 関連資料(1.53MB) 流量レンジ(L/min)0~20(standard)
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119,800 税込131,780
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