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主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において 酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。
関連資料(7.24MB)
泡や水滴による誤動作が少ない検出方式。液体の有無に対して，出力モードを選択可能。
オペレーション部を側面に配置。センサ連装時にも見易い表示灯位置。
センサ連装時にも操作可能な出力切り換えスイッチ。
電源投入時誤出力防止回路および電源逆接続保護回路を内蔵。
種類漏液センサ
検出対象水
検出方式反射型
保護構造IP67(IEC規格)
電源電圧(V)DC12～24±10%(リップル10%以下)
仕様NC、PPタイプ
関連資料(7.24MB)
1個
￥17,980
税込￥19,778
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アンプ内蔵形漏液スイッチHPQ-Dシリーズは、主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において
酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。
材質(本体)PFA、(ケーブル)PFA被覆、(プラケット)PVCもしくはPFA(SUS)
保護構造IP67(IEC規格)
電源電圧(V)DC12～24
消費電流(mA)30以下
関連資料(7.24MB)
1個
￥25,980
税込￥28,578
61日以内出荷
材質コード：PFA被覆
材質(本体)PFA
質量(g)約55
種類漏液センサ
使用温度範囲(℃)-25～50(水結なきこと)
保護構造IP67(IEC規格)
耐電圧AC1000V 50/60Hz 1分間 充電部一括とケース間
検出方式反射形
電源電圧(V)DC10.8～26.4(リップル10%以下)
光源赤外LED(ピーク発光波長940nm)
制御出力開閉電流：50mA以下(抵抗負荷)、出力耐電圧：DC30V、残留電圧：1V以下(開閉電流50mA時)
消費電流(mA)30以下
絶縁抵抗(MΩ)20(DC500Vにて)
保護回路電源逆接続保護回路付き、電源投入時誤動作防止回路付き約(20ms)、出力短絡保護回路
保存温度範囲(℃)-40～70(水結なきこと)
材質(検出面)塩ビ板、ステンレス鋼板
耐衝撃(m/s2)500 X・Y・Z各方向 3回
表示灯正常時：緑色点灯、漏液検出時：オレンジ点灯
耐振動10～55Hz 複振幅1.5mm X・Y・Z各方向 2時間
標準検出物体水
関連資料寸法、仕様情報(7.24MB)
動作形態正常時オン、漏液検出時オフ
使用湿度範囲(%RH)30～85(結露のないこと)
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