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主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において 酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。
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様々な面における使いやすさと高い検出性能の両立を実現。ダブルデジタル表示。(入光量と設定値を同時表示)使いやすさを追求した機能を搭載(感度自動切替え機能、しきい値追従機能)
種類ファイバユニット
光色赤
動作に必要な力(OF)(N)8.9
動作までの動きPT60°
材質(本体)PC樹脂
使用温度範囲(℃)-20～55
保護構造IP40(IEC規格)
コード長さ(m)1
電源電圧(V)DC 12～24±10%/-15%(リップル10%p-p以下)
光源赤色4元素(635nm)
応答時間250цs(Ft)/500цs(SF)/1ms(nL)
消費電流(mA)30(電源電圧24V時)
材質(カバー)PC樹脂
保護回路電源逆接続保護、電源投入時誤動作防止(約300ms)
保存温度範囲(℃)-35～85(結露しないこと)
消費電力(mW)750以下
使用周囲照度(Lx)白熱ランプ：5000以下、太陽光：20000以下
耐衝撃(m/s2)500 X、Y、Z各方向 3回
表示灯出力表示灯(出力ON時点灯)、STA表示灯(STA動作時点灯/補正限界時点滅)
耐振動複振幅1.5mm、周波数10～55Hz、X・Y・Z各方向2時間(NECA C 4508)
モデル標準
接続方式挿抜力：0.4～4.0N(1ピンあたり)、挿抜回数：50回以上
【付属】トレーサビリティー証明書+作業用計測器成績書～標準器校正成績書(和文)
種類-
ポート数-
構造-
すきま標準-
設定範囲-
ケーブル-
コネクタ-
耐久性-
伝送路-
最高許容圧力(kPa[kgf/cm2])-
材質コード：PFA被覆
材質(本体)PFA
質量(g)約55
種類漏液センサ
使用温度範囲(℃)-25～50(水結なきこと)
保護構造IP67(IEC規格)
耐電圧AC1000V 50/60Hz 1分間 充電部一括とケース間
検出方式反射形
電源電圧(V)DC10.8～26.4(リップル10%以下)
光源赤外LED(ピーク発光波長940nm)
制御出力開閉電流：50mA以下(抵抗負荷)、出力耐電圧：DC30V、残留電圧：1V以下(開閉電流50mA時)
消費電流(mA)30以下
絶縁抵抗(MΩ)20(DC500Vにて)
保護回路電源逆接続保護回路付き、電源投入時誤動作防止回路付き約(20ms)、出力短絡保護回路
保存温度範囲(℃)-40～70(水結なきこと)
材質(検出面)塩ビ板、ステンレス鋼板
耐衝撃(m/s2)500 X・Y・Z各方向 3回
表示灯正常時：緑色点灯、漏液検出時：オレンジ点灯
耐振動10～55Hz 複振幅1.5mm X・Y・Z各方向 2時間
標準検出物体水
関連資料寸法、仕様情報(7.24MB)
動作形態正常時オン、漏液検出時オフ
使用湿度範囲(%RH)30～85(結露のないこと)
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