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ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。DOP試験の結果が99.999%という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。

逆流防止機構内蔵により停電などの停止時にもオイルの逆流を防止し、システム側を真空状態に保ちますので、ポンプリーク弁が不要です。 多量の水蒸気を処理し、オイルを新鮮に保つガスバラスト付きです。

オイルミストフィルタMF100AEの交換用ガスケットです。

ロータリー真空ポンプE2M0.7/1.5/18/28/RVシリーズ共通のオイルフィラープラグです。

ロータリー真空ポンプRVシリーズ共通のモーターダッチングシートです。

ロータリー真空ポンプのブレードキットです。

オイルミストフィルタMF300の交換用エレメントです。 ※4本必要です。

オイルミストフィルタMF100AEの交換用エレメントです。 ※2本必要です。

オイルミストフィルタMF100の交換用エレメントです。 ※2本必要です。

オイルミストトラップの交換用Dシール(展開図：(9))です。

オイルミストトラップEMF3の交換用脱臭エレメント(展開図：(11))です。

AP101グリースは、シリコンを含まない焼き付き防止真空グリースです。 20℃で蒸気圧が10-5 Torr未満の低～中真空範囲での使用に最適です。 焼き付き防止特性を備えているため、焼き付きや腐食の影響を受ける可能性のある金属表面を効果的に保護し、潤滑剤になります。 ほとんどの溶媒に不溶で、水、アルコール、ケトン、エステルに耐性があります。 酸およびアルカリ水溶液、アルコール性アルカリ溶液、腐食性ガスからの攻撃に耐えます。 幅広い温度範囲での使用に適しています。 クリープやキャリーオーバーなど、シリコンベースのグリースに関わる汚染の問題に悩まされることはありません。 お湯と水性ガラス製品洗剤または炭化水素溶剤を使用して、容易に洗浄および除去が可能です。

Mグリースは、シリコンおよびハロゲンを含まない高真空グリースであり、あらゆる種類の高真空用途に最適です。 クリープやキャリーオーバーなど、シリコンベースのグリースに関わる汚染の問題に悩まされることはありません。 優れた潤滑性を提供します。 周囲温度(通常は10～30℃ / 50～86°F)での使用が推奨されます。 20℃で1.7x10-9Torrの蒸気圧を示します。 耐放射線性を備えています。 強力なゲッタリング作用により、金属およびガラス表面の潜在的に有害なグリースおよび化学不純物を吸収します。 炭化水素溶媒に可溶であるため、容易に洗浄および除去が可能です。

スライド式エラストマーシールに最適な潤滑油であり、フォンブリン固有の化学的な不活性を示します。 蒸気圧がきわめて低く、気体酸素および液体酸素が発生する過酷な条件下での使用に適しています。

宇宙船の潤滑油として開発されたオイルを原料とするポリフェニルエーテルです。 きわめて低い蒸気圧と卓越した熱安定性を持ち、他のオイルに比べて 表面湿潤の速度が遅く、"クリープ"の度合いが小さい傾向があります。 10-7 Pa未満の非常にクリーンな高真空および超高真空用途 (電子顕微鏡、質量分析、表面物理学など)で使用されています。 このような用途では、このオイルの優れた高真空性能とポンプ システムへの侵入傾向の低さが推奨理由となっています。 通常の運転温度において、化学的に安定し、耐食性があり、安全かつ無毒です。 オイル分解生成物(衝撃などに起因)は導電性を持つ傾向があります。 優れた潤滑品質を有し、真空システム機構の潤滑に使用できます。

エドワーズ独自の水素処理プロセスによって製造されています。 このプロセスでは、窒素、硫黄、酸素、芳香族炭化水素を除去し、 基本的に不純物を含まない高純度のベース ストックを生成します。 ウルトラグレードオイルに添加剤を加えることにより、真空性能、 熱安定性、酸化安定性、防錆性が向上します。 抗酸化剤が含まれており、オイルの劣化を招くことなくポンプの 高温運転が可能となるため、オイル交換の間隔が長くなります。

Edwardsのアクティブ ストレイン(ひずみ)ゲージ(ASG2)は堅牢で耐食性に優れたダイヤフラム ゲージであり、100，000 Pa～100 Paの範囲でガスに依存しない精度の高い測定が可能です。 アクティブ ストレイン(ひずみ)ゲージは、大気圧に近い圧力の高精度でガスに依存しない測定が必要な場合に適しており、ロード ロックなどの用途に最適です。 独立したトランスデューサとして使用できるため、OEMやシステム ビルダーはそれぞれの真空計測のニーズに合ったフレキシブルなソリューションを低コストで開発できます。 また、このゲージをTICインスツルメント コントローラに接続することもできるため、他のさまざまなセンサと組み合わせることにより、完全な真空計測ソリューションを構築できます。

加圧給油方式を採用で、大気圧から高真空までの運転がスムーズです。RVシリーズはオイル流量の調節バルブ内蔵。 オイルの逆流防止機構内蔵で、停電などの突然の停止にもオイルの逆流を防止し、システム側を真空状態に保ちます。

オイルの逆流防止機構付です。 ガスバラスト付です。

オイルの逆流防止機構付です。低振動、低ノイズです。ユニークな給油システムです。

オイルの逆流防止機構付です。ガスバラスト付です。

気圧に影響されない堅牢で使い易い絶対真空計です。

振動・ノイズが極めて低い(48dBA/50Hz)、油回転真空ポンプです。使いやすいモードセレクター(高真空モードとハイスループットモード)とアクセス可能な3ポジションのガスバラストコントロールで、稼働中も含めていつでも好きな時に、ポンプの構成を変える事ができます。高真空モードにすれば油量は少なくなり高真空が得られ、ハイスループットモードにすれば油量が多くなり負荷が小さいので長時間運転が可能になります。ソケット付きデュアル電圧/デュアル周波数モーターを装備しているので取り付けが簡単に行えます。

インレットケミカルトラップITC20Kの交換用チャコールです。

インレットダストフィルタITFの交換用フィルタエレメントです。

ターボ分子ポンプnEXT240/nEXT300/nEXT400の交換用細目インレットシールです。

ターボ分子ポンプnEXT240/nEXT300/nEXT400の交換用粗目インレットシールです。

nEXT85のベアリング交換作業に必要な工具キットです。

ターボ分子ポンプnEXT85の交換用ベアリング及びオイルカートリッジです。

ターボ分子ポンプnEXT85の交換用オイルカートリッジです。