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本器は高精度フロート式流量計と、精密ニードルバルブを組合せ、微小流量の計測制御に最適の製品です
用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
接続口径(Rc)1/4
精度±2%F.S.
寸法E(mm)29
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
精密流量制御のできるニードルバルブを組み合わせた高級グレードのバルブ付フローメータです(水(H2O)用)。微少流量の計測制御に最適です。
測定流体ガス:Air、N2、O2、H2、He、Ar、CO(実ガス校正)、液体:標準流体(H2O)
高精度な計測が可能。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能
高精度な計測が可能。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。精密流量制御のできるニードルバルブ付で微小流量の制御に適しています。
仕様●ニードルバルブ:下部バルブ(標準) 供給圧力/0.1MPa 出口圧力/0MPa(標準)●有効目盛:10:1
材質ブロック:SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
使用温度範囲(℃)最高温度60
精度±2%FS(計測ポイント)
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