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油回転真空ポンプの運転中に発生する油煙を捕集します。 排気音減少の効果にも優れています。 インライン型は上部にホースなどで配管し、油煙を外へ逃がすことが可能なタイプです。

真空排気ラインで発生するポンプからの油の逆拡散を防止し、超高真空ラインにおいては、水分等の吸着により到達圧力の向上に効果を発揮します。油拡散ポンプ排気装置、真空蒸着装置などに数多く採用されています。

オイルミストとは、油回転真空ポンプの運転中に、ポンプ内部のオイルが煙状となって排気と共に排出されるものです。特に吸入→圧縮→排気の負荷が大きい、大気圧～133.3Paの圧力範囲で発生します。オイルミストトラップは、エレメントによりこれを捕捉し外部へ漏れ出るのを防ぎますので、オイルミストによるポンプ周辺の環境汚染を防止します。さらに、排気音を減少させる効果にも優れています。

高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単独運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空装置内の高真空排気装置をご覧ください。

オイルミストとは、油回転真空ポンプの運転中に、ポンプ内部のオイルが煙状となって排気と共に排出されるものです。特に吸入→圧縮→排気の負荷が大きい、大気圧～133.3Paの圧力範囲で発生します。オイルミストトラップは、エレメントによりこれを捕捉し外部へ漏れ出るのを防ぎますので、オイルミストによるポンプ周辺の環境汚染を防止します。さらに、排気音を減少させる効果にも優れています。

真空室内にPTFE系部品を採用しており、有機溶媒系ガスや腐食性ガスの吸引などに抜群の耐食性を発揮します。油を使わないドライタイプのため、吸気側へのオイルバックが発生しません。また、排気側からのオイルミストにより室内環境が汚染されることもありません。油を使用しないためメンテナンスが簡単です。低振動・低騒音タイプです。