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大型真空ポンプ、油温が高くなる真空ポンプに使用できます。自社の蒸留装置で高度精製した真空ポンプ油です。

高度に精製した合成油(アルキルジフェニールエーテル)を高真空蒸留装置によって精密分溜した高真空用油拡散ポンプ油です。 高い真空度と優れた耐熱・耐酸化安定性があり、長期間にわたって安定してご使用頂けます。

アルキルジフェニールエーテルを主成分とする合成潤滑油を、高真空蒸留装置によって精密分溜し特殊な添加剤を配合した合成系油回転高真空ポンプ油です。 鉱物油系では得られない高い耐活性ガス・耐熱・耐酸化性を有しており、特に半導体製造装置等で使用する活性ガスの排気プロセスに最適です。

ネオバックMR-250は、高度に精製した鉱物油を高真空蒸留装置によって精密分溜した油回転真空ポンプ油です。 キニー型等の大型ポンプ用としてご使用いただけます。 低蒸気圧：軽質分が少ないことから、極めて低い蒸気圧を示します。このため到達圧力はポンプのもつ限界まで期待できます。 信頼性：精密分溜により蒸発量が極めて少ないため、オイルバックを最小限にとどめます。 水分離性：重質分が少ないことから、極めて抗乳化性に優れ、水の分離が容易です。 安定性：化学的に安定な基油であるため、酸化劣化物の生成が抑えられます。

アルキルジフェニールエーテルを主成分とする合成潤滑油を、高真空蒸留装置によって精密分溜し、特殊な添加剤を配合した合成系油回転高真空ポンプ油です。 鉱物油系では得られない高い耐活性ガス・耐熱・耐酸化性を有しており、特に半導体製造装置等で使用する活性ガスの排気プロセスに最適です。 低蒸気圧：蒸気圧が低く、到達圧力はポンプの持つ限界まで期待できます。 耐熱・耐酸化性：鉱物油系では得られない耐熱・耐酸化性を有し、長期にわたりご使用いただけます。 耐活性ガス：活性ガスに対しても酸化劣化物の発生を抑え、固着を防止します。

ネオバックSO-Mは高度に精製したアルキルジフェニールエーテルを主成分とする合成潤滑油を高真空蒸留装置によって精密分溜した合成系油回転高真空ポンプ油です。 鉱物油系では得られない高い耐活性ガス・耐熱・耐酸化性を有しており、特に半導体製造装置等で使用する活性ガスの排気プロセスに最適です。 低蒸気圧：蒸気圧が低く、到達圧力はポンプの持つ限界まで期待できます。 耐熱・耐酸化性：鉱物油系では得られない耐熱・耐酸化性を有し、長期にわたりご使用いただけます。 耐活性ガス：活性ガスに対しても酸化劣化物の発生を抑え、長期間ご使用いただけます。 耐放射線性：放射線量の多い特殊環境での用途にも適しています。