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エアを引きっぱなしのため、ウエハーに近づけるだけでウエハーが吸着します。
ボタンひとつでウエハーの着脱が可能です。
本体は導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)を用いています。
吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靱性に優れた導電性PEEK樹脂を使用しています。
抵抗値(固有)10-6Ω
質量(g)20.8
特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。
クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。
用途フロロメカニック社製ウエハー搬送用ピンセット専用の真空ポンプ。
幅(mm)137
奥行(mm)88
定格電圧(V)AC100
使用限界温度(℃)40
騒音値(dB(A))(50/60Hz)0
耐久性耐久時間/9000時間以上
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