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オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通の標準付属アルミプレートです。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

2軸および3軸タイプのQT-Aシリーズに接続し、ジョグ移動や、ステップ移動を行うためのジョイスティックボックスです。ジョグ/ステップ移動モード切替や4通りの速度テーブル切替が可能です。

寸法が合わないレンズを使用するときにホルダに合わせるための口径変換用です。

寸法が合わないレンズを使用するときにホルダに合わせるための口径変換用です。

寸法が合わないレンズを使用するときにホルダに合わせるための口径変換用です。

寸法が合わないレンズを使用するときにホルダに合わせるための口径変換用です。

寸法が合わないレンズを使用するときにホルダに合わせるための口径変換用です。

光軸の垂直面内でピンホール、レンズ、ファイバなどを微動させるものです。光軸の垂直面内でXY2方向の微動に加え2方向のアオリ調整できます。

2軸および3軸のQT-Aシリーズと外部機器を絶縁接続するためのインターフェースボックスです。コントローラQT-Aシリーズと外部機器を絶縁接続することで、ノイズによる影響を軽減することが可能です。入出力は端子台構造となっているため、半田付けが不要で、外部機器を容易に配線接続することができます。

移動ガイドにV溝とクロスローラを採用した高精度Z昇降ステージです。ステージ面が90mm×90mm、125mm×125mmそれぞれに移動量が異なるタイプがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

薄型軽量の昇降型Z軸ステージです。V-CR方式のガイドを多く組み合わせ剛性をアップしています。センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

薄型軽量の昇降型Z軸ステージです。V-CR方式のガイドを多く組み合わせ剛性をアップしています。センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

ロックレス機構を採用した、位置調整後に動かないステージです。自然ロック式により、バックラッシを防止しています。位置調整は、六角レンチを使用します。(※六角レンチは付属しておりません。)

レールスタンドでX型レールを固定・保持することができます。

M16P1ねじ・M4ねじなどを利用して各種スタンドやステージ類を取り付けることができます。

機械精度を追求した超高精度の自動Xステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動ステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。

20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。15mm移動と50mm移動のタイプがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

ロックレス機構を採用した、位置調整後に動かないステージです。自然ロック式により、バックラッシを防止しています。位置調整は、六角レンチを使用します。(※六角レンチは付属しておりません。)

移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、薄型のステージです。操作部取付位置はセンター、サイドがあります。デジマチックマイクロメータを採用しているので、マイクロメータが読めない方でも精密測定が可能です。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。

機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いクランプによる固定が可能です。

XY軸、Z軸、回転軸のスリムステージを組み合わせた、XYZ回転ステージです。マイクロメータヘッドの向きを逆にしたタイプがあり、左右からの操作が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。

旧QTシリーズをUSB通信制御する場合に使用します。このケーブルは規格に準じた一般的な仕様のものです。

X型レールを固定・保持することができます。

コントローラQT-Aシリーズの非常停止入力端子(Emergency)に接続して使用する非常停止スイッチです。入出力は端子台構造となっているため容易に接続することができます。非常停止ボタンが押されると非常停止入力となり、ボタンを右回転させると解除されます。使用時はコントローラ本体のDipSW(ディップスイッチ)で非常停止機能を有効に設定してください。コントローラ本体側の非常停止解除方法は、「パラメータNo．54」の設定により「電源再投入」または操作ボックスの「STOPキーの使用」、通信の「RESTAコマンド」または「RESETコマンド」になります。

QT-ADL1、QT-ADL1-35、QT-BK専用のACアダプタです。