種類Xステージテーブル長さ(mm)40テーブル幅(mm)40耐荷重(N)98移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.2平行度(mm)0.015、運動の平行度:0.007材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロムRoHS指令(10物質対応)対応移動方向X軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.04、ピッチ剛性:0.04、ロール剛性:0.02許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:500、ピッチ:500、ロール:500