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4インチ対応の移動量100mm×100mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

4インチ対応の移動量100mm×100mmの薄型軽量ステージです。 顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。 標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

MSS-Aシリーズ，MSS-Bシリーズ，MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。 標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。

MSS-Aシリーズ，MSS-Bシリーズ，MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。 3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

セラミックス焼結法の採用により、多孔質セラミックス内部からの発塵の心配がなく、使用環境を汚染しません。 吸着面全面にわたり均一な吸着力を発生いたします。従って、穴開き真空チャックが苦手とする厚みの薄いワーク、フィルム等のワークの保持に適しています。

MSS-Aシリーズ，MSS-Bシリーズ，MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。 3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。