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RoHS10物質対応(6)
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特価
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アルミプレート中央精機￥13,980税込￥15,378
1個
10日以内出荷
MSS-Aシリーズ，MSS-Bシリーズ，MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。
3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
RoHS指令(10物質対応)対応
マイクロスキャニングステージ中央精機￥899,800税込￥989,780
1台
20日以内出荷
4インチ対応の移動量100mm×100mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
仕様●ステージ面(mm)：205×183●リミットセンサ：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●位置決め精度(1/10ストローク)(mm)：X軸0.010、Y軸0.010●位置決め精度(フルストローク)(mm)：X軸0.040、Y軸0.040備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4)：36種類xyステージ繰返し精度(mm)±0.002分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3耐荷重(N)29.4(3kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向送り方式ボールねじ移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)移動量(mm)XY軸±50使用モータPKP523N12A送りねじリード(mm)1ロストモーション(mm)0.003最高速度(mm/s)40(20000pps時)原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
ガラスプレート中央精機￥13,980税込￥15,378
1枚
20日以内出荷
MSS-Aシリーズ，MSS-Bシリーズ，MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。
標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。
RoHS指令(10物質対応)対応
ウェアホルダ中央精機￥39,980税込￥43,978
1個
20日以内出荷
MSS-Aシリーズ，MSS-Bシリーズ，MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。
3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
RoHS指令(10物質対応)対応
吸着プレート中央精機￥259,800税込￥285,780
1枚
60日以内出荷
セラミックス焼結法の採用により、多孔質セラミックス内部からの発塵の心配がなく、使用環境を汚染しません。
吸着面全面にわたり均一な吸着力を発生いたします。従って、穴開き真空チャックが苦手とする厚みの薄いワーク、フィルム等のワークの保持に適しています。
適合MSS-100C用材質多孔質セラミックス、アルミ合金質量(kg)1表面処理黒アルマイト梨地平面度(mm)0.005RoHS指令(10物質対応)対応
マイクロスキャニングステージ中央精機￥899,800税込￥989,780
1台
70日以内出荷
4インチ対応の移動量100mm×100mmの薄型軽量ステージです。
顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。
標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
付属品アルミプレート六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M4 4本材質アルミ合金/質量(kg)3.5(アルミプレートを除く)耐荷重29.4N(3kgf)繰返し精度(mm)±0.002センサーリミット：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3RoHS指令(10物質対応)対応ステージ寸法(mm)205X183移動方向XY軸2方向移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)移動量(mm)XY軸±50使用モータPK523HPA(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)(1/10ストローク)X軸0.010、Y軸0.010、(フルストローク)X軸0.040、Y軸0.040ロストモーション(mm)0.003最高速度(mm/s)16(8，000pps時)送りねじ種類ボールねじ原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
