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空気圧機器をトラブルから守るために各種フィルタ、空気の清浄化と調圧による力のコントロールを実現。液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス、ブロー圧力、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度(感度0.001MPa)に設定可能。

空気圧機器をトラブルから守るために各種フィルタ、空気の清浄化と調圧による力のコントロールを実現。液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス、クリーンエア、ガスの圧力制御など、ノングリス、ノンオイルを必要とするラインに最適。