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高洗浄な製品環境下でのニーズにお応えする、クリーンシステム機器。万全の対策でクリーンルーム内のパーティクル汚染防止に対応します。低発塵0.1μmパーティクル換算でクリーン度JIS ISOクラス5相当。(FED-STD クラス100相当)、シリコンフリー。衝撃値の低減と衝突音を軽減。