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アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。 気密性に優れています。

ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。 アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 積層高さもコンパクトです。 低汚染を追求した材質で製造されています。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。 SS300はガスケットを有し、帯電防止性も品揃えしています。 SS300セットはパッキン付きですので、気密性に優れています。