フッ素樹脂製で優れた機密性と高耐久性を実現しました。
空気弁ボタンはスムーズな開閉動作を実現しています。
吸引軸は360度回転でき、各方向の吸着物に自在に対応できます。
材質フッ素樹脂
接続口外径(Φmm)3.8、4.8(2段口)
外寸法(Φ×L)(mm)21×148(吸引軸、吸着チップ除く)
プロセス制御の最先端ニーズに応える、小型の薬液用電磁弁です。弁の開閉時の容積変化量は0.01μL以下です。
使用流体空気、水、脱イオン水(純水)、希釈液、洗浄液
弁構造ダイヤフラム式直動ポペット(ロッカータイプ)
使用圧力範囲-75kPa~0.3MPa
定格電圧(V)DC24
オリフィス径(Φmm)2
接続口径Rc1/8
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