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サーマルセンサーを搭載しています。 低圧損構造です。 コンパクトサイズで最大200LMに対応します。

マスフローコントローラMQV□□□□は、検出部にアズビル独自開発の熱式流速センサである「μF(マイクロフロー)センサ」を使用し、比例ソレノイドバルブと高度なアクチュエータ技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。高速ワイドレンジ流量制御ニーズを先取りした一般産業市場向け次世代気体流量コントローラです。

低容量セラミック断熱材を採用し、温度保持性能および高温時の耐久性を高めた、温度制御器を一体型に内蔵したプログラム管状炉です。Omron製プログラム制御器を搭載しているため、昇温速度・維持時間、降温速度のプログラムを256ステップ設定(8プログラムx32)可能です。発熱体(ヒーター)は世界標準のカンタルA1グレードを採用しています。炉心管、ガスタイトフランジ、ガス供給フローメーターセット、真空置換用真空ポンプ、水冷循環装置を追加でき、雰囲気ガスおよび真空での高温熱処理が可能です。