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バキュームシールは、弾力性・耐薬品性に優れています。 。摩耗の少ない金属シールと、芯振れのないようにベアリングとで確実にバキュームシールを行っています。

クラス1000のクリーンルーム内でイオンエア洗浄・パーティクルを除去しています。シリコーンフリーを使用しているため、パーティクル、アウトガス、シロキサン汚染を抑制します。弱粘着性ですので、糊残りしずらいです。バキュームシーラーでヒートシールドを施し、クリーンパックしています。